热解氮化硼陶瓷的特点
热解氮化硼(PBN)属于六方晶系,纯度可以达到99.999%,耐酸碱,抗氧化,导热性好,致密,可加工。它在高温、高真空条件下,由氨和硼的卤化物进行化学气相沉积(CVD)而成,既可以制备PBN板材,也可以直接制备坩埚,舟,涂层等PBN最终产品。
热解氮化硼与普通的热压氮化硼(HBN)不同,不必经过传统的热压烧结过程,不添加任何烧结剂,因此获得的产品具有如下显著特点:
1、无毒、无味;
2、纯度高,达到99.999%以上;
3、 室温下与酸、碱、盐及有机试剂不反应,在熔融的盐、碱液中略腐蚀,但能抗高温下各种酸的腐蚀;
4、与大多数熔融金属、半导体及其化合物不反应;
5、在1000℃以下,抗氧化性能良好;
6、抗热震性能良好,2000℃投入水中未见裂纹;
7、使用温度高,无升华点,在3000℃以上直接分解为B和N;
8、电阻高,电绝缘性能好;
9、表面光滑,无气孔,与大多数半导体熔体不湿润。
热解氮化硼的应用
由于 CVD 工艺的性质,热解氮化硼零件通常要求壁厚不超过 3 毫米。但CVD 工艺使热解氮化硼具有近乎完美的层状结构,从而导致各向异性的热导率,使其成为制作晶体生长坩埚的理想材料。
产品应用:
1、OLED 蒸发单元;
2、半导体单晶生长(VGF、LEC)坩埚;
3、分子束外延(MBE)蒸发坩埚;
4、MOCVD 加热器;
5、多晶合成舟;
6、PBN红外窗口;
7、卫星通讯微波管;
8、PBN涂层载盘 ;
9、高温、高真空设备绝缘板。
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